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工信部推廣國產氟化氬光刻機:分辨率≤65nm
最后更新: 2024-09-14 23:06:26據微信公眾號“工信微報”消息,近日,工信部發布了《首臺(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄(2024年版)》。
“工信微報”介紹道,重大技術裝備是國之重器,事關綜合國力和國家安全。中國首臺(套)重大技術裝備是指國內實現重大技術突破、擁有知識產權、尚未取得明顯市場業績的裝備產品,包括整機設備、核心系統和關鍵零部件等。
而觀察者網注意到,在《首臺(套)重大技術裝備推廣應用指導目錄(2024年版)》電子專用裝備目錄下,集成電路設備方面:氟化氬光刻機,光源193納米,分辨率≤65nm,套刻≤8nm。
工信部網站
標簽 半導體- 責任編輯: 戴佳源 
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