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光刻機巨頭ASML稱中企可能侵權，中企稱關鍵技術完全自研
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呂棟lvdong@guancha.cn
最后更新: 2022-02-11 19:04:51
【文/觀察者網 呂棟】
當地時間2月9日，荷蘭光刻機巨頭阿斯麥（ASML）在2021年財報中宣稱，中國企業東方晶源（Dong Fang JingYuan Electron，DFJY）正在中國積極銷售可能（could potentially）侵犯該公司知識產權的產品。阿斯麥還稱，東方晶源與一家已經破產的美國公司XTAL存在關聯，2019年美國法院曾判定XTAL侵犯阿斯麥知識產權。
觀察者網隨后聯系了東方晶源，對方工作人員稱暫時不方便回應此事。而阿斯麥中國方面告訴觀察者網，此事與XTAL之前的侵權案有關，是年報中的正常披露。阿斯麥正在密切關注東方晶源的動態，目前尚未準備采取法律措施，但如果有確鑿證據該公司將訴諸法律。
阿斯麥研發人員 圖源：阿斯麥
中企稱關鍵技術完全自研
據阿斯麥財報中披露的信息，該公司在2021年初獲悉，一家與XTAL公司有關的公司正在中國積極推銷可能侵犯阿斯麥知識產權的產品，2019年XTAL曾因在美國盜取阿斯麥的商業秘密被判定做出賠償。作為回應，阿斯麥已經告知客戶不要協助這家名叫“東方晶源“的中國公司從事此類潛在的侵權行為。阿斯麥還透露，該公司已向中國監管部門告知相關信息，正在密切監測相關情況，并準備在適當的時機采取法律行動。
阿斯麥2021年財報截圖
觀察者網查詢發現，東方晶源全稱為東方晶源微電子科技（北京）有限公司，成立于2014年，總部位于北京亦莊經濟技術開發區，專注于集成電路良率管理。亦莊國投曾披露，東方晶源由中國500強企業東方集團投資控股，而東方集團是一家成立于1978年的大型投資控股型民營企業。
從具體業務來看，東方晶源主要產品為納米級電子束缺陷檢測裝備（EBI）和關鍵尺寸量測裝備（CD-SEM）、計算光刻產品（OPC）以及微電子設計與制造智能良率優化平臺（HPOTM）。該公司稱，其產品均為自主研發且處于國內領先水平，可以有效解決國內集成電路產業多個難點。
東方晶源官網截圖
而阿斯麥官網顯示，該公司產品除光刻機之外，也包括用于提高芯片良率和質量的計算光刻，“如果沒有計算光刻，芯片制造商就不可能制造出最新的技術節點”。
有資深半導體行業人士告訴觀察者網，在光刻過程中，光的衍射以及感光層中的物理和化學效應會使光刻機試圖刻出的圖像變形，因此需要計算光刻進行校準和優化。簡單來說，計算光刻類似EDA中的算法，是一種晶圓廠需要購買的服務，如果曝光圖形跟實際掩膜（Mask）有差異，可以通過計算光刻提前修正掩膜確保得到想要的圖形。一般來說，如果晶圓廠覺得阿斯麥的計算光刻不夠好，也可以選擇第三方提供的產品，二者由此便會形成競爭。
阿斯麥官網截圖
荷蘭媒體無理攻擊中國，遭阿斯麥反駁
本次阿斯麥除指控東方晶源可能侵權外，還特意提到東方晶源與XTAL存在關聯，而阿斯麥與XTAL的知識產權糾紛發生在數年之前，彼時還曾引發一些外媒對中國的無理攻擊。
事情要從2016年說起。當年5月，阿斯麥向美國法院起訴美國公司XTAL，指控XTAL盜取阿斯麥美國子公司Brion的某些源代碼和知識產權，并且稱XTAL誘導和教唆阿斯麥員工在離職前秘密為其工作。
根據官方介紹，Brion是計算光刻概念的提出者，該公司2007年被阿斯麥收購。而XTAL于2014年由兩名曾在Brion工作過的員工創立，致力于提高半導體制造過程中的良率，業務也包括計算光刻。據當時的外媒報道，XTAL在成立后發展迅猛，而阿斯麥在失去一個關鍵客戶的合同后開始對XTAL產生懷疑。
Brion相關介紹
阿斯麥向法院提出的指控稱，在XTAL成立1年后，兩名阿斯麥員工辭職加入該公司，這兩名員工將Brion的商業機密復制到存儲設備上帶走，用于促進XTAL的業務，并且他們隨后還與兩名仍在Brion工作的前同事一起竊取機密信息。
- 責任編輯: 呂棟
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