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（文/觀察者網 呂棟）在新三板摘牌1年半后，華卓精科開始沖刺科創板。

日前，這家被市場稱作“光刻機第一股”的廠商，正式向上交所提交招股書并獲受理。雖然不生產光刻機整機，但其實控人、清華大學教授朱煜透露，該公司生產的光刻機核心子系統——雙工件臺打破了ASML技術壟斷，成為世界上第二家掌握雙工件臺核心技術的公司。

不過，目前華卓精科的光刻機雙工件臺僅有上海微電子一家客戶，并且該產品仍處于小批量定制生產階段，尚未實現規模化量產。同時，其晶圓級鍵合設備、激光退火設備等產品還與上海微電子存在競爭。

2017年-2019年，華卓精科營收和凈利呈逐年增長態勢，但其同期收到的政府補助要遠大于其營收規模，其中2019年收到的政府補助是其當年凈利潤的16倍。除此之外，招股書中還透露，其融資渠道較為單一，難以滿足該公司快速擴張的需求。

上海微電子光刻機產品

核心產品僅一家客戶

雖然被譽為A股“光刻機第一股”，但華卓精科并不能直接生產光刻機整機，其主要產品為光刻機雙工件臺、超精密測控裝備及關鍵零部件等，而工件臺、投影物鏡和光源是光刻機的三大核心子系統，其中工件臺成本占到整個光刻機成本的10%-20%。

觀察者網梳理公開資料發現，在2000年之前，光刻設備只有一個工件臺，晶圓片的對準與曝光流程都在上面完成。直到2001年，荷蘭ASML推出Twinscan雙工件臺系統，使光刻機能在一個工件臺進行曝光晶圓片，同時在另外一個工作臺進行預對準工作，生產效率和精度得到大幅提升。

值得注意的是，雖然雙工件臺系統僅是增加一個工件臺，但技術難度卻不容小覷，對工件臺轉移速度和精度有非常高的要求。此前該產品技術被ASML一家壟斷，直到2016年才被清華大學攻克。

當年4月28日，由清華大學機械工程系教授朱煜擔任負責人的研發團隊，歷經5年時間研發的光刻機雙工件臺系統樣機，通過國家科技重大專項“極大規模集成電路制造裝備及成套工藝”（下稱：02專項）實施管理辦公室的項目驗收。而朱煜本人正是華卓精科的實際控制人。

2018年5月，朱煜在接受華璋資本調研時表示，其生產的雙工件臺打破ASML在工件臺上的技術壟斷，是世界上第二家掌握雙工件臺核心技術的公司，而且在全球能單獨供應工件臺的也只有華卓精科。

光刻機雙工件臺  圖片來源：清華大學機械工程系官網

在招股書中，華卓精科透露，作為國內首家可自主研發并實現商業化生產的光刻機雙工件臺供應商，其為上海微電子提供光刻機雙工件臺，并長期保持良好的合作關系，共同進行IC前道光刻機核心技術的研發和IC前道光刻機產品的生產，占據了中國商用光刻機雙工件臺的主要市場份額。

但是，上海微電子也是華卓精科光刻機雙工件臺產品的唯一客戶。

目前，世界上主要的光刻機生產商包括ASML、尼康、佳能等公司。

其中，尼康和佳能采用In House‖生產模式，即光刻機的主要子系統均由整機廠商研發和生產；ASML早期采用Out House‖生產模式，僅負責整機的設計和子系統的需求定義，各個子系統均由第三方廠商進行研發和生產。2010年后，隨著ASML逐步成為光刻機市場霸主，其開始自行設計工件臺。

并且，無論采取何種模式研發和生產工件臺，上述整機廠商使用的工件臺均不單獨對外銷售。因此，前述機構在調研報告中也提到，華卓精科也是上海微電子唯一的光刻機工件臺供應商。

招股書截圖

華卓精科披露，目前其光刻機雙工件臺產品仍處于小批量定制生產階段，尚未實現規模化量產。

該公司針對國產高端IC前道光刻機的需求推出了DWS和DWSi兩種系列的雙工件臺，前者主要適用于干式步進式掃描光刻機，可用于65nm及以上工藝節點，目前已向上海微電子完成交付；后者適用于浸沒式光刻機，可用45nm及以下工藝節點，目前仍處于研發階段。

談及光刻機工件臺的價格，朱煜曾透露，干式的雙工件臺約2000萬元，浸沒式的約6000萬元。

有業內人士分析指出，華卓精科的雙工件臺技術雖然實現從0到1的突破，但是與國外還有一些差距，目前國際先進水平的雙工件臺技術已運用于7nm，甚至5nm光刻機的生產制造。

而華卓精科光刻機雙工件臺業務近年來波動也較大。2017-2019年，該產品營收分別為1521萬元、795萬元和0萬元，占主營業務收入比重分別為28.12%、9.28%和0%。

該公司坦言，若其研發的光刻機雙工件臺因技術或客戶需求等原因導致產業化不及預期，則可能對其未來該產品銷售收入分別為經營業績造成不利影響。

除此之外，華卓精科還需要面對另一個不確定因素：其產品和重要客戶存在一定競爭。

招股書披露，其以光刻機雙工件臺的超精密測控技術為基礎，開發了晶圓級鍵合設備、激光退火設備等整機產品。而其光刻機雙工件臺的唯一客戶上海微電子，也是后兩大產品的主要供應商。

招股書截圖